非氢氟酸base之玻璃(石英)蚀刻液
专门用来取代氢氟酸的酸性玻璃蚀刻液，为中弱酸性系统中的玻璃蚀刻液。不会攻击与分解干、湿光阻。室温下蚀刻玻璃速率约与15~20%HF相同，对石英玻璃或矽晶圆材质蚀刻时，不会产生晶界腐蚀现象，能得到高度平滑、光亮的蚀刻表面。
蚀刻速率-
1.一般玻璃: 5-8 um/min at 40'C
2.石英玻璃: 2 um/hr at 40'C
others
-
【随拍即上】用手机就能掌握信息！
蚀刻速率-
1.一般玻璃: 5-8 um/min at 40'C
2.石英玻璃: 2 um/hr at 40'C